羅茨真空泵抽氣速率下降的原因分析

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故障原因：

1、泵的內(nèi)部零件磨損，導(dǎo)致間隙增大，影響了抽氣效果。

2、泵的冷卻系統(tǒng)出現(xiàn)故障，導(dǎo)致泵體溫度過(guò)高，影響了抽氣效果。

3、泵的進(jìn)口或出口閥門(mén)泄漏，導(dǎo)致氣體回流，影響了抽氣效果。

4、葉輪或泵腔出現(xiàn)積碳、氧化物或異物。

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解決辦法：

1、對(duì)磨損的零件進(jìn)行修復(fù)或更換，以恢復(fù)泵的正常抽氣速率。

2、檢查并修復(fù)冷卻系統(tǒng)，確保其正常工作，降低泵體溫度。

3、檢查并修復(fù)泄漏的閥門(mén)，確保其密封性能良好。

4、清洗葉輪或泵腔，移除積碳、氧化物或異物。